Plazma Təmizləyicilərin Xüsusi Tətbiqləri

Plazma təmizləmə/aşındırma maşınları elektrik sahəsi yaratmaq üçün iki elektrodu möhürlənmiş konteynerə yerləşdirməklə plazma yaradır. Müəyyən bir vakuum səviyyəsini saxlamaq üçün bir vakuum pompası istifadə olunur. Qaz getdikcə seyrəkləşdikcə, molekullar arasındakı məsafə və molekulların və ya ionların sərbəst hərəkəti də artır. Elektrik sahəsinin təsiri altında bu ionlar toqquşaraq plazma əmələ gətirir. Bu ionlar yüksək reaktivdir, demək olar ki, bütün kimyəvi bağları qırmaq üçün kifayət qədər enerjiyə malikdir və istənilən məruz qalmış səthdə kimyəvi reaksiyalara səbəb olur. Müxtəlif qaz plazmaları müxtəlif kimyəvi xüsusiyyətlərə malikdir. Məsələn, oksigen plazması yüksək oksidləşdiricidir, qaz əmələ gətirmək üçün fotorezisti oksidləşdirə bilir və bununla da təmizləmə effektinə nail olur. Aşındırıcı qaz plazması aşındırma tələblərinə cavab verən əla anizotropiyaya malikdir. Plazma müalicəsi bir parıltı yaradır, buna görə də parıltı boşalması adı verilir.
Plazma təmizləmə mexanizmi, ilk növbədə, səth ləkələrini çıxarmaq üçün plazmadakı aktiv hissəciklərin "aktivləşməsinə" əsaslanır. Reaksiya mexanizmi baxımından plazmanın təmizlənməsi ümumiyyətlə aşağıdakı prosesi əhatə edir: qeyri-üzvi qazlar plazma vəziyyətinə keçir; qazlı maddələr bərk səthə adsorbsiya olunur; adsorbsiya edilmiş qruplar bərk səthdəki molekullarla reaksiyaya girərək məhsul molekullarını əmələ gətirir; məhsul molekulları qaz fazasına parçalanır; və reaksiya qalıqları səthdən çıxarılır.

Plazma təmizləmə texnologiyasının ən əhəmiyyətli xüsusiyyəti odur ki, o, metallar, yarımkeçiricilər, oksidlər və polipropilen, poliester, polimid, polivinilxlorid, epoksi və hətta politetrafloroetilen kimi əksər polimer materialları da daxil olmaqla istənilən substrat növünü emal edə bilir. O, həm bütün səthi, həm də xüsusi sahələri, eləcə də mürəkkəb strukturları təmizləyə bilir.