Plazma Təmizləyici Giriş

Plazma, bərk cisimlər, mayelər və qazlar kimi, maddənin dördüncü vəziyyəti olaraq da bilinən bir vəziyyətdir. Plazma qazı ionlaşdırmaq üçün ona kifayət qədər enerji verildikdə əmələ gəlir. Plazmanın "aktiv" komponentlərinə ionlar, elektronlar, reaktiv radikallar, həyəcanlanmış nuklidlər (metastabil vəziyyətlər) və fotonlar daxildir. Plazma səthi təmizləmə sistemləri təmizləmə, modifikasiya və fotorezist kül kimi məqsədlərə nail olmaq üçün nümunə səthlərini müalicə etmək üçün bu aktiv komponentlərin xüsusiyyətlərindən istifadə edir.